在現(xiàn)代工業(yè)的發(fā)展中，氣體已經(jīng)是必不可少的耗材。一方面是由于生產(chǎn)工藝的需求，如刻蝕、涂層等，氣體經(jīng)過真空電解可以和介質(zhì)發(fā)生反應(yīng)達(dá)到生產(chǎn)需求；另一方面作為輔助、吹掃、動力源等也是用途廣泛。在使用具有危險性質(zhì)的氣體時，無論是管道殘留、還是純度要求等，都需要進(jìn)行工藝管線的吹掃?，F(xiàn)代特氣輸送系統(tǒng)中，吹掃和排氣已經(jīng)成為整套系統(tǒng)的標(biāo)配，特氣系統(tǒng)加入吹掃功能后大大提升了安全性，也保證了每次使用氣體的純度。本文嘗試從吹掃和排氣的專業(yè)角度對整套系統(tǒng)的架設(shè)提出建設(shè)性意見。
特氣系統(tǒng)吹掃氮氣設(shè)置：
n 自然性、可燃性、毒性、腐蝕性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮氣應(yīng)與獨立的氮氣源鏈接，不得與公用的氮氣或工藝氮氣系統(tǒng)相連；
n 不相容性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮氣不得共用同一氮氣源；
n 吹掃氮氣管線必須設(shè)置止回閥。
吹掃氮氣模塊的設(shè)計已經(jīng)成為特氣輸送系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)化配置，有些用戶根據(jù)自身廠務(wù)的情況也可以使用氬氣等惰性氣體作為吹掃氣體。除了易燃易爆性、毒腐性特氣需要外接氮氣吹掃外，很多惰性氣體使用的是自吹掃系統(tǒng)。對于常用的氫氣、乙炔等氣體，也建議設(shè)置接入外吹掃氮氣，一方面可以保證管內(nèi)潔凈度，一方面也較大程度的保證使用安全。
另外，吹掃氮氣的純度建議仍然保持在5N及以上，避免給管道和閥門造成二次污染。
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